在半導體制造、特種氣體生產(chǎn)、醫(yī)療呼吸支持等高精度領域,氧氣純度的微小偏差都可能引發(fā)災難性后果。純度氧分析儀憑借其從ppm級到99.999%的寬量程監(jiān)測能力,正成為保障工業(yè)安全與產(chǎn)品品質(zhì)的核心設備,其技術演進與應用創(chuàng)新持續(xù)推動著行業(yè)標準的升級。
1.離子流法:突破傳統(tǒng)傳感器的物理極限
傳統(tǒng)電化學傳感器因電解液消耗導致壽命短、需頻繁校準,而氧化鋯傳感器在低溫或還原性氣體環(huán)境中易失效。新一代離子流氧氣傳感器通過創(chuàng)新設計解決了這些痛點:采用多孔陶瓷基片作為擴散層,利用擴散機制精確控制氧氣流向陰極的速率。當施加電壓超過臨界值時,電流達到飽和形成極限電流,其強度與氧氣摩爾分數(shù)呈線性關系。南京艾伊的傳感器已實現(xiàn)10ppm至96%的寬量程覆蓋,在氫氣提純、電子特氣生產(chǎn)等場景中,單點校準后即可保持長期穩(wěn)定性,維護周期從每月縮短至數(shù)年。
2.激光光譜:非接觸式測量的精度革命
在煤化工制氫、天然氣分離等高溫高壓工況下,傳統(tǒng)傳感器易受腐蝕性氣體侵蝕。可調(diào)諧二極管激光吸收光譜(TDLAS)技術通過發(fā)射特定波長的激光穿透氣體,利用氧氣分子對1.315μm波長的特征吸收實現(xiàn)非接觸式測量。
3.行業(yè)應用:從實驗室到生產(chǎn)線的全場景覆蓋
在半導體行業(yè),南京艾伊的微量氧分析儀可實時監(jiān)測硅烷裂解制氫過程中的氧雜質(zhì),將電子級多晶硅的氧含量控制在0.8ppma以下;食品包裝行業(yè),儀器通過多通道監(jiān)測系統(tǒng),使氮氣沖壓包裝的殘氧量從3%降至0.5%,延長生鮮產(chǎn)品貨架期3倍以上。
4.純度氧分析儀外觀示意圖

從量子計算所需的超純氦氣,到深海潛水呼吸的高壓氧艙,純度氧分析儀正以納米級檢測精度和智能化數(shù)據(jù)分析能力,重新定義氣體純度控制的標準。隨著固態(tài)電解質(zhì)材料與AI算法的深度融合,下一代設備將實現(xiàn)自診斷、自校準功能,為工業(yè)4.0時代的柔性制造提供更可靠的品質(zhì)保障。